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小孔圓度測(cè)量分析案例
這是將前端直徑為 φ0.5 mm 的球測(cè)針 (SA-166) 插入內(nèi)徑為 φ0.7 mm 的管狀工件中進(jìn)行圓度測(cè)量的 結(jié)果。
通過使用 SA-158，可以測(cè)量φ0.5 mm的內(nèi)徑。
| 最小測(cè)量孔徑 | φ10微米~ |
|---|---|
| 最大測(cè)量長度 | 300 x 300 x 300 微米 |
| 測(cè)量分辨率 | 10nm |
| 測(cè)量功率 | 0.1 μN(yùn)或更小 |
| 運(yùn)動(dòng)軸 st. (X, Y, Z) | 50 x 50 x 52 毫米 |
| 最大樣本量 | φ160mm t = 50mm |
| 最小測(cè)量孔徑 | φ10微米~ |
|---|---|
| 最大測(cè)量長度 | 300 x 300 x 300 微米 |
| 測(cè)量分辨率 | 10nm |
| 測(cè)量功率 | 0.1 μN(yùn)或更小 |
| 運(yùn)動(dòng)軸 st. (X, Y, Z) | 305 x 370 x 52 毫米 |
| 最大樣本量 | φ300mm t = 50mm |
